原位程序升温化学吸附分析仪以MEMS自控温谐振式微悬臂梁传感芯片为检测核心，实现原位实时程序升温分析功能，工作原理和方法世界首创。与传统仪器相比，它体积小巧，具有样品消耗量少、质量分辨率高、控温范围广、分析速度快等优点，可用于TPD、TPR、TPO等测试。其型号为LoC - TPA 4000，有多种技术参数指标，如质量变化分辨率≤1 pg、温度控制范围 - 196℃ ~ 1000℃等，具备全防腐设计、可通腐蚀性气体、双通道联用等特点，还可与多种仪器联用，额定功率50W，主机尺寸45 x 34 x 29 cm，有相关代表性成果。