微悬臂梁气敏测试系统

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微悬臂梁气敏测试系统

来源: | 作者:Solution-101 | 发布时间: 2025-05-29 | 3 次浏览 | 分享到:

微悬臂梁气敏测试系统以MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片为敏感元件，是研究功能材料气敏性能及开发测试高性能气敏传感器的平台。将不同气敏材料负载到芯片上可形成质量型气敏传感器，系统能实时感知测量吸附目标气体引起的质量改变以实现定量分析，可检测ppb甚至ppt量级气体。其型号为LoC - GSS 1000，有多种性能参数，如气敏材料负载量0 ~ 30 ng、质量变化分辨率≤ 0.5 pg等。应用案例包括介孔材料实现对TNT痕量快速检测、MOF - 74材料制备低检测下限的CO气体传感器、石墨烯衍生物实现对三甲胺痕量快速检测等，还有更多代表性成果。

微悬臂梁气敏测试系统

微悬臂梁气敏测试系统，是使用MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片作为敏感元件，研究功能材料气敏性能的分析工具以及高性能气敏传感器的开发与测试平台。

通过将不同的气敏材料负载到微悬臂梁传感芯片上，可以形成多种多样的质量型气敏传感器。当传感器对目标气体发生吸附作用时，引起的微小质量改变可以被微悬臂梁气敏测试系统实时感知和测量，从而实现对目标气体的定量分析与测试。

由于MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片具有超高的质量检测灵敏度，因此该仪器可实现对ppb甚至ppt量级气体的痕量检测，是研究气敏材料和气敏传感器的新利器。

产品特点

性能参数

指标名称	参数
型号	LoC-GSS 1000
原理	质量变化实时检测
质量变化测量元件	MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片
气敏材料负载量	0 ~ 30 ng（10-9g）
质量变化分辨率	≤ 0.5 pg（10-12g）
气氛控制	可连接动态智能配气系统（选配）或自行搭建气路；检测池全防腐设计；微悬臂梁传感芯片带气氛保护功能，可应用除氟化物外的大部分气体
测量通道	最大4个
额定功率	30 W
主机尺寸（宽x深x高, cm）	25 x 30 x 15

应用案例

介孔材料

功能化介孔材料作为敏感材料被负载到谐振式微悬臂梁之上。由于介孔材料具有极高的比表面积，通过在其上修饰对TNT特异性敏感的基团，实现了对TNT的痕量快速检测，检测下限达到世界先进的ppt量级，同时兼具优秀的选择性与长时间的使用寿命。
Anal. Chem. 83 (2011) 3448-3454

MOF材料

MOF-74材料被用作制备CO气体传感器。通过将MOF-74材料负载到谐振式微悬臂梁之上，实现了对CO气体检测下限低至几个ppb的气敏传感器，且该传感器具备很好的选择性。
Sensors and Actuators B 262 (2018) 562-569

石墨烯材料

石墨烯衍生物被应用于气敏测试中，利用 -COOH修饰的AuNPS-rGO为敏感材料，实现了对三甲胺的痕量快速检测，在兼具选择性与灵敏度的同时，抗湿度干扰的能力也有了大幅提升。
J Mater. Chem. A 2013, 1, ‏ 4444-4450

更多代表性成果

Nano Lett. 2021, 21, 1679-1687 Sens. Actuators B 2018, 256, 639-647
Anal. Chem. 2016, 88, 12234-12240 Sens. Actuators B 2015, 209, ‏ 943-950Anal. Chem. 2012, 84, 6679-6685 Sens. Actuators B 2014, 202, 846-853Small 2014, 10, 2404-2412 Analyst 2021, 146, 4042-4048Analyst 2019, 144, 3729-3735